气流传感器
所有气体质量流量传感器均在热交换时工作——流动和压力差。硅芯片设计源自薄膜、隔热桥结构，包含加热和热敏组件。这可以对空气或气体流量和方向作出快速响应，提供相应的输出电压。放大型能提供更强的输出信号和更少的外部电路，而未放大型可选择更多的外部电路。
霍尼韦尔提供：
- 先进的芯片设计、制造工艺和微结构技术
- 加快响应时间并实现更低的功耗
- 多种端口类型，提供更高的应用灵活性
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气体质量流量传感器
- 对 30 SCCM 至 300 SLPM 的低流量敏感
- 精确的低压感应
- 模拟或者数字输出版本
- 放大或非放大版本
| 气体质量流量传感器 |
霍尼韦尔 Zephyr™ HAF 系列——高精度，±50
SCCM 至 ±750 SCCM查找产品 |
霍尼韦尔 Zephyr™ HAF 系列——高精度，10
SLPM 至 300 SLPM查找产品 |
AWM1000 系列查找产品 |
AWM2000 系列查找产品 |
AWM3000 系列查找产品 |
AWM5000 系列查找产品 |
AWM700 系列查找产品 |
AWM40000 系列查找产品 |
AWM90000 系列查找产品 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 信号调节 | 放大、补偿 | 放大、补偿 | 非放大、补偿 | 非放大、补偿 | 放大 | 放大 | 放大 | 非放大（补偿）或放大 | 非补偿式 |
| 技术 | 具有绝热加热器的硅片 | 具有绝热加热器的硅片 | 硅片 | 硅片 | 硅片 | 硅片 | 硅片 | 硅片 | 硅片 |
| 流量/压力范围 |
0 SCCM 至 ±50 SCCM 0 SCCM 至 ±100 SCCM 0 SCCM 至 ±200 SCCM 0 SCCM 至 ±400 SCCM 0 SCCM 至 ±750 SCCM |
0 SLPM 至 10 SLPM 0 SLPM 至 15 SLPM 0 SLPM 至 20 SLPM 0 SLPM 至 50 SLPM 0 SLPM 至 100 SLPM 0 SLPM 至 200 SLPM 0 SLPM 至 300 SLPM |
±200 SCCM 1000 SCCM 至 -600 SCCM ±5,0 mbar [2.0 inH20] ±10,0 mbar [4.0 inH20] |
±30 SCCM ±1000 SCCM ±10,0 mbar [4.0 inH20] |
30 SCCM、200 SCCM、1000 SCCM ±0 mbar 至 1,25 mbar [0 inH20 至 0.5 inH20] ±0 mbar 至 5,0 mbar [0 inH20 至 2 inH20] 5,0 mbar [2.0 inH20] |
0 SLPM 至 5,0 SLPM 0 SLPM 至 10,0 SLPM 0 SLPM 至 15,0 SLPM 0 SLPM 至 20,0 SLPM |
300 SLPM |
±25,0 SCCM 1,0 SLPM 6,0 SLPM |
±200 SCCM ±5,0 mbar [2.0 inH20] |
| 总误差带 | 低至 ±0.25 %FSS |
10 SLPM 至 200 SLPM：4.0% 读数 300 SLPM:7.0% 读数 |
— | — | — | — | — | — | — |
| 输出 | 模拟 (Vdc)，数字（I2C） | 数字（I2C） | 模拟 | 模拟 | 模拟 | 模拟 | 模拟 | 模拟 | 模拟 |
| 功耗 |
3.3 Vdc：典型值：40 mW（无负载）（模拟） 典型值：23 mW（无负载）（数字） 5.0 Vdc：典型值：55 mW（无负载）（模拟） 典型值：38 mW（无负载）（数字） |
3 Vdc：最大 60 mW 10 Vdc：最大 200 mW |
典型值为 30 mW | 典型值为 30 mW | 典型值为 50 mW 或 100 mW | 最大 100 mW | 最大 60 mW | 最大 60 mW，最大 75 mW | 典型值为 50 mW |
| 端口类型 |
长接口紧固件安装 短接口紧固件安装 短接口卡扣式安装 |
歧管安装 22 mm OD 锥形螺头 G 3/8 母螺纹接头 |
直插 | 直插 | 直插 | 1/4 in-18 NPT | 22 mm，锥形 | 多面 | 平行 |
| 支持的介质 | 无腐蚀性干燥气体 | 无腐蚀性干燥气体 | 无腐蚀性干燥气体 | 无腐蚀性干燥气体 | 无腐蚀性干燥气体 | 无腐蚀性干燥气体 | 无腐蚀性干燥气体 | 无腐蚀性干燥气体 | 无腐蚀性干燥气体 |
| 补偿温度范围 |
0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] |
0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] |
-25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F] |
-25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F] |
-25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F] |
-0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] |
10°C 至 40°C [50°F 至 104°F] |
-25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F] |
— |
| 工作温度范围 |
-20°C 至 70°C [-4°F 至 158°F] |
-20°C 至 70°C [-4°F 至 158°F] |