MEMS惯性传感器

针对惯性制导、组合导（GPS+INS）、平台稳定、姿态控制等惯性领域。我公司推出电容式超小型高精度MEMS惯性器件，其中全数字化微陀螺整体质量仅为1.8g，MEMS微加速度计质量仅为1g，可抗20000g过载。针对振动测试、冲击测试、爆炸测试、运动控制、硬目标侵彻等领域。我公司推出压阻式高性能等可靠加速度传感器，集成陶瓷、金属、塑封等多种封装形式，量程覆盖50g到100000g供您 MORE+

射频（RF）MEMS器件

全球首家推出采用高精度微纳立体加工、硅圆片直接键合、TSV(硅通孔)等MEMS技术制作的新一代硅腔滤波器芯片，拥有超小体积与重量、多层全屏蔽、抗干扰卓越的微波性能，低损耗、高抑制、为微波毫米波系统小型化提供了新选择。产品频率范围覆盖2~50GHz，具有带通、带阻、窄带、宽带、超宽带多个系列。广泛应用于雷达、微波通讯、电子系统等领域。 MORE+

SiMF系列MEMS带通滤波器 SiMF系列MEMS带阻滤波器 SiMF系列MEMS低通滤波器 SiMF系列MEMS高通滤波器

汽车MEMS传感器

采用先进的MEMS 加工工艺、惠斯通电桥设计、精确温敏电阻、内置信号调理电路等技术开发。 MEMS碰撞传感器应用于汽车碰撞实验、汽车缓冲测试、汽车车身和底盘可靠性测试。热膜式汽车空气流量计测量精度高、响应时间短、可测量脉动的空气流，用于汽车发动机进气量的检测。 MORE+

MFS07系列空气流量计 MFS05系列空气流量计 MSA4000A系列微加速度传感器 AFS系列空气流量计芯片 MPA1064系列微加速度传感器

热式燃气表

热式燃气表示基于我公司创新的MEMS传感器技术研发的一款新型的天然气计量表，基于热式质量流量原理，可实现直接的天然气质量流量测量，兼容GB/T6968-1997，无需温度、压力补偿即可实现标方体积计量；内部集成气氛传感器，可实现测量介质气氛智能识别、燃气密度实时修正，并可升级到天然气能量计量；无可动部件，具有高精度、超远量程、超低始动流量、低压损、地维护等特点，本质为全电子化仪表，易于拓展成预付费 MORE+

MGM2000系列热式燃气表

光MEMS器件

采用高精度微纳加工工艺、位置线性精确控制、DRIE深槽刻蚀等技术开发的光机电一体化集成光开关（OS）、可变光衰减（VOA）和波长选择开关（WSS）等产品，具有体积小、低功耗、低插损、高隔离度、低偏振相关、低波长相关、快速响应等优点。广泛应用于光通信和各种光网络。 MORE+

MOA100系列 MEMS光衰减器芯片 MOS100系列 MEMS光开关（OSW）芯片 MOA200系列 MEMS光衰减器（MOA）芯片

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